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MOCVD装置是当今国际上，用于生长半导体单晶薄膜的先进设备。它广泛应用于制备航天太阳能电池，半导体激光器，光电阴极，发光管，微电子器件和各种量子阱结构材料。该装置利用了自己的专利技术制作成低压、气动旋转衬底座反应室，使得该装置拥有自主知识产权。该装置填补了国内卧式MOCVD反应室衬底旋转技术的空白，总体水平达到了国际上90年代同类产品的先进水平。为我国MOCVD技术发展，特别是MOCVD装置的制...
平面全息离子束刻饰光栅研制
平面 全息离子束 刻饰光栅
2023/8/21
该项目实现了理论设计、在线实时监测和工艺创新齐头并进的全息光栅制作系统，将严格电磁场理论设计方法引入到全息曝光、显影、离子束刻蚀等工艺环节，全面实施光栅理论指导下的产品形成过程的在线实时监测，设计制作出性能优异的平面全息光栅。该项目研制出国内首台全自动、平面光栅连续光谱衍射效率测试仪，提高了测试精度、检测可靠性与检测效率。该项目建立了光栅企业标注，申请修改了光栅行业标准。通过本系统设计开发，能够生...