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显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用
云纹法 微电子器件
2013/10/17
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化，作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题. 力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据. 概括总结了显微云纹技术的发展，主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用.
高温微电子器件用GSMBE氮化物材料
氮化物 微电子 GSMBE
2008/10/7
本项目为GSMBE技术，是MBE技术的一种，根据所使用的气体不同可 分为使用氨气的NH_3-MBE和使用氮气等离子体的RF-MBE。前者依靠热分解把氨分子分解成氮原子，而后者则利用射频电磁场将氮分子裂解成氮原子。本课题使用上述两种技术，在蓝宝石衬底上生长出了GaN薄膜材料以及AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管结构材料，并用这些材料研制出了异质结场效应晶体管（HFET）器件。研究成果达到国际先进水...
一种用于微电子器件的无泵液体散热方法及其装置
无泵液体散热 微电子器件散热
2008/10/7
该项目成果为一种用于微电子器件的无泵液体散热方法及其装置，其采用载热液体装入吸热容器中，载热液体吸收微电子器件的发热量，散热器的外表面将热量散发到空气中，散热后的液滴沿着散热器和连接管的内壁回流到吸热容器中，形成无泵状况下液体自循环散热过程。根据该方法设计的装置是由末端散热器、连接管、及内置载热液体的吸热容器组成；吸热容器与末端散热器通过连接管连为一体，并使其内部形成密闭空间。末端散热器的安装位置...