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微型二维扫描镜是一种基于微光机电系统（MOEMS）技术的新型偏转扫描装置，与传统扫描装置相比具有体积小、功耗低、扫描频率高等优点。给出了一种MOEMS微型二维扫描镜的设计方案，建立了二阶振动系统的动力学模型，推导了系统刚度和扫描频率的计算式，以及MOEMS微型二维扫描镜在两个方向上的最大偏转角。采用有限元方法对系统进行了模态仿真、谐响应分析和应力仿真，分析结果均符合设计要求，验证了该方案的可行性和...
