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高温微电子器件用GSMBE氮化物材料
氮化物 微电子 GSMBE
2008/10/7
本项目为GSMBE技术,是MBE技术的一种,根据所使用的气体不同可 分为使用氨气的NH_3-MBE和使用氮气等离子体的RF-MBE。前者依靠热分解把氨分子分解成氮原子,而后者则利用射频电磁场将氮分子裂解成氮原子。本课题使用上述两种技术,在蓝宝石衬底上生长出了GaN薄膜材料以及AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管结构材料,并用这些材料研制出了异质结场效应晶体管(HFET)器件。研究成果达到国际先进水...