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搜索结果:
1-1
共查到
“
信息科学与系统科学 谐振悬臂梁
”
相关记录1条 . 查询时间(0.06 秒)
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究出科学测量分析用
谐振悬臂梁
MEMS高端芯片（图）
科学测量分析
谐振悬臂梁
MEMS
高端芯片
2020/9/24
近期，该所传感技术国家重点实验室李昕欣团队将
谐振
微
悬臂梁
集成于透射电镜（TEM）原位微反应器芯片中，实现了原位实时的热力学/动力学特性分析与参数测量，并与TEM窗口观测成像功能配合，首次实现了电镜中实时构效关联的纳米构筑过程分析与测量功能（图1）。论文发表在领域顶级刊物Nano Today上：Wei Li, Ming Li, Xueqing Wang, Penghceng Xu, Haitao Y...
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