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压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析微机电加速度传感器压电效应压电薄膜灵敏度 2013/12/9

基于压电薄膜的压电效应，研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析，得到传感器方程，并进行数值计算.结果表明，随着压电薄膜厚度的增大，灵敏度随之增大，在一定厚度下达到最大值，随着厚度的进一步增大，灵敏度反而减小.然后进行动力分析，得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数，并进行了数值计算.运用ANSYS软件进行谐响应分析，得到不同频率下结构的动力响应曲线.