搜索结果: 1-2 共查到“电子科学与技术 全国发明展”相关记录2条 . 查询时间(0.26 秒)
微电子所“等离子体增强原子层沉积系统”在第二十届全国发明展上荣获金奖（图）
微电子所 第二十届 全国发明展上 金奖
2011/10/28
在刚刚闭幕的第二十届全国发明展览会上，微电子所微电子设备技术研究室（八室）参展的“等离子体增强原子层沉积系统（ALD）”凭借多项原创发明喜获展览会金奖，成为本届展会中国科学院系统唯一获此殊荣的项目。
在刚刚闭幕的第二十届全国发明展览会上，微电子所微电子设备技术研究室（八室）参展的“等离子体增强原子层沉积系统（ALD）”凭借多项原创发明喜获展览会金奖，成为本届展会中科院系统唯一获此殊荣的项目。