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华侨大学机电及自动化学院博士生导师陆静教授（图）
陆静 华侨大学机电及自动化学院 博士生导师 教授 磨抛工具
2021/1/4
陆静，女，1981.12，教授，博士生导师。研究方向：半导体晶圆衬底超精密加工；智能制造新型磨抛工具的研发。在国内外高水平刊物发表SCI收录学术论文82篇，申报专利26项、美日韩国际专利各2项，授权发明专利6项、实用新型专利4项、PCT1项、美国专利1项。2018年获福建省自然科学优秀学术论文一等奖。受聘晶安光电技术顾问，芯光润泽外聘专家，宽禁带半导体材料制备山西省重点实验室外聘专家。2018年获...