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中国科学院过程工程研究所参与“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”项目获2019年度国家科技进步二等奖
中国科学院过程工程研究所 芯片 超高纯电子级 磷酸 高选择性 蚀刻液生产 2019年度 国家科技进步 二等奖
2020/1/10
过程工程所参与的“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”项目,突破了芯片用超高纯电子级磷酸和高选择性蚀刻液的进口替代难题,于1月10日上午,被授予2019年度国家科技进步二等奖。
2014年1月10日,2013年度国家科学技术奖励大会在人民大会堂隆重召开。由中国计量科学研究院联合云南省计量测试技术研究院完成的“国家直流大电流计量标准研究建立与应用”成果获得国家科技进步二等奖。
中国科学院电子学研究所高脉冲功率速调管荣获部级科技进步二等奖
高脉冲 功率速调管
2013/1/16
高脉冲功率速调管是大科学装置等不可替代的高功率微波源。该类器件涉及的学科领域广、需要突破的关键技术多,研制难度相当大。在世界范围内,只有美国和日本研制出了功率量级相当的高脉冲功率速调管。
生物芯片仪器研制项目获四川省科技进步二等奖
生物芯片 仪器研制 二等奖
2011/11/8
由光电技术研究所与电工所承担的中国科学院知识创新工程重大项目“生物芯片仪器研制”,日前被四川省人民政府授予2005年度科技进步二等奖。