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2012年9月2至8日,科技部中白国际合作项目“高端光刻机偏振照明关键技术联合研究”课题1与课题4的技术研讨会在上海光机所召开,白俄罗斯KBTEM-OMO光学公司、上海光机所、长春光机所、光电研究院与成都光电所的专家及中国长城工业集团有限公司的代表参加了会议。