搜索结果: 1-1 共查到“电子科学与技术 绝缘基底”相关记录1条 . 查询时间(0.062 秒)
化学气相沉积(CVD)是生长大面积高质量石墨烯的有效方法之一。在石墨烯的CVD生长过程中,需要使用金属催化剂,石墨烯需要转移才能构筑电学器件,与当前的半导体加工工艺不兼容,同时转移会造成石墨烯的褶皱、破损和降低其电学性能。如能在绝缘衬底上实现石墨烯的无金属催化生长,那就不需要转移可直接构筑电学器件。但是,不同于多数金属基底上的自限制生长方式,石墨烯在绝缘基底上的CVD生长常常会伴随有生长速度慢与重...