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用三维分子动力学方法模拟了基于AFM针尖的不同结构(FCC,BCC)的单晶金属(铝,铁,铜,镍)的纳米切削过程,研究了单晶金属延展性能对切削过程工件材料变形的影响。使用Morse势计算工件原子之间,工件原子和刀具原子之间的相互作用。观察和分析了切削过程中切屑形成,工件变形区域,以及系统势能变化。模拟结果显示单晶金属延展性能对基于AFM的纳米切削过程有显著影响。
本文采用分子动力学方法,应用Tersoff经验势模型,研究了Si/Ge/Si和Ge/Si/Ge结构的弛豫过程中的晶格常数变化,原子均方位移变化,原子总势能及振动光谱的变化。充分弛豫之后,Si/Ge/Si结构横向拉伸,纵向压缩;而Ge/Si/Ge结构横向和纵向都压缩,且纵向压缩幅度大,弛豫时间长。原子总势能和原子均方位移在系统达到平衡后达到恒定值,且总势能低于初始势能。振动光谱逐渐衰减且Ge/Si/...
基于Stillinger-Weber(SW)势和“x-分区”模型,用分子动力学方法模拟了266 nm飞秒激光烧蚀单晶硅的过程,给出了烧蚀过程的物理图像,烧蚀过程中材料内部缺陷的产生与发展最终导致整层材料被移除。对比研究了烧蚀材料中不同区域粒子的运动轨迹,结果体现了在固、液、气不同状态下粒子的运动特征。模拟了激光诱导应力波的传播,其速度为8.18 km/s。
分子动力学仿真在超精密及微细加工中的作用巳显示出良好的前景,较系统地描述了分子动力学中采用的势函数,仿真过程中的切后形成、切削力、切削温度及表面质量,仿真算法与边界条件等内客;并结合实际分析了仿真图形的物理意义。最后指出了存在的问题和改进措施。

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