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北京大学微电子学研究院纳电子器件与集成电路研究室成立于80年代初。从“九五”、“十五”开始，针对亚100nm、亚50nm集成电路技术中新结构器件、相关物理问题分析、关键工艺制备技术等方面进行研究，同时开展了SOI射频电路、数模混合电路的相关研究，取得了一系列创新性成果。获得“七五”国家科技攻关重大成果奖；国家“八五”科技攻关重大成果奖等。