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题目：集成电路工艺介绍。时间：2023年11月16日（周四）下午14:00。地点：国际校区F3-b113。主讲人：徐伟。讲座内容：集成电路工艺的分类，集成电路工艺的设备，集成电路工艺的特点，集成电路工艺的进步，碳化硅工艺的特点和前瞻。

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