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题目:集成电路工艺介绍。时间:2023年11月16日(周四)下午14:00。地点:国际校区F3-b113。主讲人:徐伟。讲座内容:集成电路工艺的分类,集成电路工艺的设备,集成电路工艺的特点,集成电路工艺的进步,碳化硅工艺的特点和前瞻。

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