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微电子所博士生刘杰荣获等离子体注入与沉积国际会议优秀学生论文奖（图）
微电子所 等离子体注入 沉积国际会议 论文奖
2011/10/28
2011年9月8日至12日，第十一届等离子体注入和沉积国际会议（PBII&D）在哈尔滨召开，我所微电子设备技术研究室（八室）博士生刘杰在大会上作了题为《A Novel Method to Texture Silicon for Solar Cells》的报告，其论文《High efficiency black silicon solar cell with self-cleaning dual-s...
2011年9月8日至12日，第十一届等离子体注入和沉积国际会议（PBII&D）在哈尔滨召开，我所微电子设备技术研究室（八室）博士生刘杰在大会上作了题为《A Novel Method to Texture Silicon for Solar Cells》的报告，其论文《High efficiency black silicon solar cell with self-cleaning dual-s...
第三届微电子与等离子体技术国际会议(The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology, ICMAP-2011)于2011年7月4日至7日在大连富丽华大酒店召开。本次会议由中国力学学会、中国真空学会、韩国真空学会、韩国半导体与显示技术协会、日本应用物理学会等离子体电子学分会主办，大连理工大学承办。本次...
基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究
表面等离子体效应 MEMS红外辐射源 光子晶体
2014/5/12
研究了一种新型的基于二维光子晶体结构的表面等离子体共振Surface plasmon resonance（SPR）效应的红外辐射源，该辐射源基本结构为Si-SiO2（650nm）-Cr（100nm）-Au（800nm），并在Au表面刻蚀5m的周期性排列的圆孔。设计加工了几种不同的结构，包括三种不同的圆孔间距即晶格常数：6m, 7m, 和8᠊...
弱纵向外电场对磁化等离子体中哨声波的影响
等离子体 纵向电场 哨声波 增长率
2010/4/12
本文以等离子体动力论为基础讨论存在纵向外电场时磁化等离子体的哨声波。由于外电场的影响,等离子体偏离平衡态。取电子稳态分布函数为局域的麦克斯韦分布,用沿无扰轨道积分方法求出系统的介电张量,并分别用介电张量的厄米部份和反厄米部份分析哨声的色散关系和增长率。对于波矢在以电场方向为轴顶角为2θc锥角范围内的哨声,外电场的作用使波增长;波矢在此锥角范围之外,外电场的作用使其衰减。波的增长率随频率增高而增大,...
尾迹对卫星周围等离子体扰动特性分析
卫星充电 低轨道 尾迹效应 鞘层
2010/4/22
卫星充电和尾迹效应会对周围的等离子体造成扰动，进而影响星上电磁和等离子测量 载荷的测量精度。利用卫星与等离子体相互作用模拟软件SPIS，并采用DEMETER卫星的 一组在轨测试的等离子参数，采用粒子分室法模拟了低轨道卫星的尾迹效应特性。结果显示 ，卫星的表面充电电位为-0.72 V，负的充电电位一定程度上减小了尾迹效应的影响，尾 迹效应对等离子体的扰动在尾迹一侧约为2.5 m，离子撞击侧约为0.7...
2010年1月18日，由中科院等离子体研究所承担的ITER FEEDER超导馈线系统电流引线项目——ITER高温超导68千安大电流引线成功进行了稳态与快变循环脉冲运行测试。本次实验是在引入流量、压力、精确测量反馈、温度的自动控制策略，模拟未来ITER高温超导电流引线实际运行情况下进行的。实验结果获得了ITER国际组的认可。ITER 电流引线专家顾问组YiFeng Yang教授全程指导了这次实验并对...
150kV/1kHz可调脉宽电晕等离子体驱动源
脉冲变压器 匝间分布电容 磁开关 脉冲宽度调节
2010/5/6
建立了重复频率、可调脉宽线板放电型电晕等离子体驱动源实验平台，该平台由谐振充电、脉冲升压变压器和磁开关宽脉冲调制等部分构成，试验平台输出脉冲电压峰值150 kV、最高重复频率1 kHz、输出脉冲前沿0.53 μs、脉冲宽度5～25 μs可调节。阐述了该平台脉冲调制原理，通过实验结果分析了脉冲变压器分布电容对系统能量传输的影响，指出提高脉冲氢闸流管开关能力、改善脉冲变压器绝缘结构设计、降低匝间分布电...
有限磁场中激光等离子体通道天线的传播特性
高功率微波 有限磁场 等离子体通道天线
2009/11/26
提出了一种用于辐射高功率微波的各向异性磁化等离子体通道天线（AMPCA），阐述了该天线的具体实现方法，给出了其工作原理，建立了AMPCA的电磁模型。推导了广义柱坐标系下各向异性磁化等离子体中纵向场满足的波动方程，并给出了纵向场与横向场的关系，利用边界条件导出了AMPCA传播模式的特征方程，并在极限条件下，将结果与已有文献进行对比，验证了所推导结果的正确性和有效性。数值计算了AMPCA传播模式的色散...
基于等离子体气动激励的斜劈诱导激波控制
等离子体 弧光放电 激波
2010/2/21
基于弧光等离子体气动激励，采用不同的放电通道间距、放电通道数、放电直流输入电压、斜劈劈角、有无磁场作用等激励条件，实验研究了在超音速来流条件下（马赫数为2.2）斜激波位置、角度、强度的变化规律。结果表明:施加等离子体气动激励后，激波的起始位置平均前移1~8 mm，激波角平均减小4%~8%，激波强度平均减弱8%~26%。这主要是由于等离子体气动激励产生高温高压的表面等离子体层，使边界层分离点逆气流前...
一种适于1维磁等离子体电磁波传输特性的FDTD分析
时域有限差分方法 电磁波传输 各向异性等离子体
2009/11/3
提出了一个新的分析各向异性磁等离子体中电磁波传输特性的时域有限差分（FDTD）方法。该方法是将电流密度矢量与电场强度矢量之间的本构方程基于拉普拉斯变换原理转到复频域，然后再逆变换到时域得到它们之间显式的方程，最后再结合指数差分，得到离散时域的显式的FDTD迭代方程，解决了本构方程中电流密度矢量的分量相互耦合而不易直接离散的困难。该方法在数学上具有简单明了和易于计算的特点，同时通过该方法计算各向异性...
大气压微波等离子体炬的仿真设计与实验
微波等离子体炬 矩形波导 大气压
2010/2/21
设计了一个低成本、高稳定性的基于BJ22矩形波导的微波等离子体炬源。整个系统由1～10 kW主频2.45 GHz的磁控管微波功率源、环形器、调谐器和微波反应腔体组成。通过特殊设计的调谐装置，在气体喷嘴处产生高幅值的电场强度，使工作气体电离形成大气压开放式微波等离子体炬。对影响电场强度的几个关键因素进行了仿真，得出各个参数对场强的影响规律;根据仿真参数设计了微波反应腔体，该系统可以在大气压下激发和维...
等离子体圆柱波导慢电磁波的激励
等离子体 色散特性 互作用增益
2009/8/31
本文在考虑等离子体厚度效应的情况上,详尽地推导了充填圆环状等离子体的圓柱波导中TM模慢电磁波的色散方程;利用相对论空间电荷波理论,导出了相对论电子注在轴向磁场引导下沿等离子体内表面传输时的空间电荷波方程;求得了电子注和慢空间电荷波相互作用的线性增益和频率漂移;讨论了等离子体厚度、密度对色散特性和互作用增益的影响。
考虑纵向磁场的等离子体介质切伦可夫脉塞
纵向磁场 等离子体 介质切伦可夫脉塞
2009/8/31
在介质切伦可夫脉塞中加入背景等离子体可有效地提高器件的效率和微波输出功率。本文通过求解束-等离子体、内衬介质的波导色散方程,重点分析了纵向均匀磁场对等离子体介质切伦可夫脉塞注波互作用的影响,给出了磁场、等离子体密度、介质参量等对线性空间增长率和能量比的影响曲线。