搜索结果: 1-4 共查到“半导体技术 等离子体”相关记录4条 . 查询时间(0.214 秒)
中国科学院微电子研究所专利：电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
中国科学院微电子研究所 专利 电感耦合 等离子体线圈 等离子体 注入装置
2023/7/10
中国科学院微电子研究所专利：电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
2010年1月18日，由中科院等离子体研究所承担的ITER FEEDER超导馈线系统电流引线项目——ITER高温超导68千安大电流引线成功进行了稳态与快变循环脉冲运行测试。本次实验是在引入流量、压力、精确测量反馈、温度的自动控制策略，模拟未来ITER高温超导电流引线实际运行情况下进行的。实验结果获得了ITER国际组的认可。ITER 电流引线专家顾问组YiFeng Yang教授全程指导了这次实验并对...
PZT铁电薄膜材料的ECR等离子体刻蚀研究
等离子体刻蚀 锆钛酸铅 凝胶-溶胶工艺
2009/6/5
以SF6和SF6+Ar为刻蚀气体，采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除．研究了不同气体总流量、混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响，指出当气体混合比约为20%时，刻蚀速率达到最大值．锆钛酸铅铁电薄膜表面组份XPS能谱分析曲线表明，在SF6和SF6+Ar气体中，被刻蚀后样品的Pb含量大大减少，TiO2的刻蚀是限制锆钛酸铅铁电薄膜刻蚀速率的...