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光刻是一种高精度制造技术,广泛应用于半导体行业。基于光刻的硅基电子制造工艺已达到5纳米技术节点,单颗芯片上晶体管数量已达百亿级。相比之下,基于溶液法加工的有机电子学微型化远远落后于硅基电子学。现有印刷有机电路的晶体管密度往往只有60 units cm-2。通过光刻加工有机电路所有部件(如有机半导体、电介质和导体)的全光刻工艺方案无疑是推进有机电子学微型化和高密度集成的有效手段。
周燕,中国科学院半导体研究所研究员,硕士生导师。主要研究方向包括:光电信息探测及弱信号检测,主要研究解决目标信息探测、传输、处理及显示的新理论、新方法、新技术及新装备的研究;重点研究激光探测夜视成像技术、三维探测成像技术以及多普勒干涉测量技术方面的研究;光电成像系统的性能评价方法及测试技术研究;主要研究解决低照度条件下,系统的客观评价校准及测试技术;半导体激光光源技术的研究;主要开展用于照明和干涉...

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