搜索结果: 1-1 共查到“电子科学与技术 纳米加工”相关记录1条 . 查询时间(0.251 秒)
光子束超衍射纳米加工技术及应用基础研究项目获国家重大研究计划立项
光子束超衍射纳米 项目 国家重大研究计划
2009/12/21
近日，以中科院理化技术研究所段宣明研究员任首席科学家申报的“光子束超衍射纳米加工技术及应用基础研究”项目通过了科技部国家重大研究计划评审，批准科研经费为2400万元。项目研究团队由中科院理化技术研究所、国家纳米科学中心、中科院半导体研究所、南开大学等单位组成。