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最近在国家自然科学基金重大研究计划和湖南省自然科学基金杰出青年项目等课题的支持下,物理与微电子科学学院教授、微纳结构物理与应用技术湖南省重点实验室主任潘安练教授领导的研究小组,通过与浙江大学的紧密合作,在半导体纳米结构白光发射方面取得了重大进展。研究成果近期被纳米技术的顶级期刊——《Nano Letters》(IF: 12.186) 接收发表(DOI: 10.1021/nl203529h)。
国际著名电子显微学和纳米材料学专家王中林教授作客南强讲座(图)
电子显微学 纳米材料学 王中林
2010/1/22
纳米材料在微电子技术中的应用
纳米材料 微电子技术
2008/10/7
成功实现了分散度小的粒径可控生长,有效控制了金属杂质含量;解决了纯度及稳定性问题,提高了适用性。制得可用于不同材质抛光的不同粒径范围,具有较小分散度的硅溶胶,为CMP工艺提供了合格的精抛磨料。此成果完成后,用于微电子用抛光液并可实现大规模生产,使科技成果得以转化,推向国际市场,年效益达到近千万元。