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【北京理工大学】飞秒激光时空整形的电子动态调控微孔加工（图）
飞秒激光时空整形 电子动态调控 微孔加工
2022/6/13
微孔作为一种常见结构，在新能源、消费电子、生物制药、航空航天、生化传感等领域获得了广泛的应用。然而在实际应用中，对于高品质微孔的加工，传统的方法具有一定的局限性：机械钻孔易操作，但难以加工小直径、高深径比的微孔；电火花钻孔只适用于导电材料并且精细加工难度大；电子束、聚焦离子束钻孔可实现纳米至亚微米精度的微孔加工，但加工条件苛刻，加工效率慢。
2017年3月28日,中国科学院条件保障与财务局组织对西安光机所研制的国内首套工业化“心脏支架飞秒激光高精细加工设备”进行验收。中科院条财局科技条件处处长姜言彬主持验收会，来自中科院电工所、中国科学院大学、西北工业大学、西安应用光学研究所、西安航空动力股份有限公司、中科院西安分院等单位专家组成的专家组对所研制设备的性能指标进行了现场检测，审阅了相关文件资料。经过质询讨论，专家组一致认为：“西安光机...