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面向大批量、低成本市场开发MEMS传感技术的先驱Omnitron Sensors，近日宣布将与赛微电子旗下Silex Microsystems合作量产用于激光雷达（LiDAR）的MEMS扫描镜。Omnitron Sensors联合创始人、首席执行官（CEO）Eric Aguilar表示：“我们注意到汽车高级驾驶辅助系统（ADAS）、无人机及其他机器人系统制造商对低成本、高可靠的激光雷达有着巨大的需...
中国科学院声学研究所专利：一种用于MEMS麦克风的数字前置放大器
振动能量采集器因其可代替电池，收集环境中振动能为IOT设备提供能源，近年来受到广泛关注。而在IOT设备应用的典型场景-工业环境中，高温度及高湿度极端环境无处不在。静电型振动能量采集器内部预充电电荷受极端环境影响容易衰减，这对能量采集器的大规模应用造成极大挑战。针对这一问题，南方科技大学深港微电子学院汪飞副院长率领团队研发了一款基于MEMS技术制造的，集成了硅针尖阵列的电荷可修复型静电能量采集器。当...
东南大学MEMS教育部重点实验室
东南大学MEMS教育部重点实验室 微电子学
2022/5/7
东南大学1983年开始集成传感器的研究，并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERC￠85，Germany, p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果；1986年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《Applied Surface Science，30(2)，397（1987）》报道了硅键合材料的测试结果；1987年开始了微传感器CAD研究，并于1988年在《Solid St...
基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发（图）
宽禁带氧化物半导体薄膜材料 MEMS传感器
2022/5/30
2021年12月第一届全国博士后创新创业大赛在广东省佛山市举办，中山大学博士后青年英才积极组队参加，展现了中山大学博士后队伍建设的蓬勃气象。本届大赛以“博采科技精华 创新引领未来”为主题，共设创新赛、创业赛、海外（境外）赛和揭榜领题赛等四个组别，约1400个项目以路演和答辩为主要展示形式，线下现场赛和线上云参赛相结合，经过3天的激烈角逐，我校代表团共获得1个银奖、3个铜奖、8个优胜奖的好成绩。
东南大学电子学院牵头国家重点研发计划“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会顺利召开（图）
东南大学电子学院 国家重点研发计划 硅基MEMS 高能量密度 薄膜 锂离子电池 无线传感网 论证会
2022/5/7
2021年3月31日，东南大学电子学院黄晓东教授牵头的国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会在南京顺利召开。电子学院科研副院长徐申及科研院等相关部门负责同志出席了论证会。
针对滑动变阻器调零误差较大、不易用线性数值方法求解，提出了一种用于弹载测试仪的基于BFGS算法的自动调零方法。求解过程可以避开采用牛顿迭代法海森矩阵非正定的缺陷，保证较快的收敛速度，便于DSP快速的求解。DSP控制数字电位器精确调零，还可以消除长时间工作状态下由传感器温漂产生的缓慢累进系统误差。经过冲击实验、实弹模拟实验和数值分析，验证了此方法的可靠性。
近期，该所传感技术国家重点实验室李昕欣团队将谐振微悬臂梁集成于透射电镜（TEM）原位微反应器芯片中，实现了原位实时的热力学/动力学特性分析与参数测量，并与TEM窗口观测成像功能配合，首次实现了电镜中实时构效关联的纳米构筑过程分析与测量功能（图1）。论文发表在领域顶级刊物Nano Today上：Wei Li, Ming Li, Xueqing Wang, Penghceng Xu, Haitao Y...
针对MEMS惯性器件测量误差大，系统定位误差随时间累积问题，提出了一种动态零速修正与快速正交搜索相结合的融合导航算法，可对线性和非线性误差有效抑制。试验表明，与单独使用动态零速修正相比，该融合算法可以大大提高系统解算精度，在60 s惯性导航中，经补偿后的位置误差不大于0.95 m，实现了车载惯导系统低成本高精度自主导航。
国内领先的硅光子平台和MEMS工艺平台开始对外服务（图）
硅光子平台 MEMS工艺 对外服务
2017/5/31
近日，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心对外发布了基于8英寸CMOS工艺线的硅光子平台和MEMS工艺平台，开始面向国内外企业开展技术服务，标志着我国在硅光子和MEMS领域的研发能力大幅提高，将显著提升企业和科研机构在上述领域的研发进度。硅光子技术是在后摩尔时代微电子与光电子融合趋势下发展起来的新型技术，它利用成熟的CMOS技术和平台并基于硅基材料进行光电器件和芯片的开发与生产。硅光子不...
MEMS开关宽频程控步进衰减器设计与实现
MEMS开关 射频衰减器 Q值匹配
2016/12/17
提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计，选择以CPW（共面波导）为传输线，接触式MEMS开关作控制器件，同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配；其次，通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸；然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真，对比单级衰减和展频二级衰减的S参数，可以发现，在Q值匹配后的电路...
新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
接口电路 MEMS Sigma-delta ADC
2016/12/26
MEMS加速度计接口电路主要采用传统sigma-delta架构实现，但这种方式中的电路失调电压很容易产生积分饱和现象.为解决这个问题，本文设计了一种可以用于钻井、石油勘探等微弱信号检测的新型数字电容接口电路.该设计在电容式MEMS加速度传感器基础上，采用FPGA实现数字三阶环路滤波器，构成5阶sigma-delta系统.采用数字环路滤波器降低了ASIC模拟电路版图设计与芯片测试难度，利于快速优化环...
MEMS陀螺随机漂移误差系数的动态提取
随机误差系数 窗函数 Allan方差
2015/5/15
针对传统Allan方差提取微机电系统（MEMS）陀螺随机误差系数仅得到近似均值，与实际中其随时间在均值附近波动不相符的缺点，提出一种动态提取MEMS陀螺随机误差系数的方法。该方法将窗函数引入Allan方差计算，不仅能够正确提取MEMS陀螺随机误差系数，而且还能得到MEMS陀螺随机误差系数的时间变化曲线，这将有利于MEMS陀螺的性能分析和误差补偿。实验证明该方法提取的MEMS陀螺随机误差系数的时间变...
2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
2014 IEEE 27th International Conference Micro Electro Mechanical Systems MEMS
2014/1/20
This Conference reflects from the rapid proliferation of the commitment and success of the Microsystems research community. In recent years, the IEEE MEMS Conference has attracted more than 700 partic...
研究人员制备成功RF MEMS振荡器（图）
研究人员 制备 RF MEMS振荡器
2014/1/8
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RF MEMS振荡器。