搜索结果: 1-15 共查到“电子科学与技术 SiO2”相关记录19条 . 查询时间(0.12 秒)
中国科学院微电子研究所专利：一种分子尺度界面SiO2的形成和控制方法
以正硅酸乙酯为前驱体，采用氨水为催化剂配制SiO2溶胶，在胶体陈化过程中掺入十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷对胶体进行改性，并采用溶胶凝胶法在K9基片上制备了改性的二氧化硅增透膜，用红外光谱仪、分光光度计、原子力显微镜、椭偏仪、静滴接触角测量仪、N2吸附-脱附对膜层性质进行了分析。结果表明：掺氟的二氧化硅膜层增透膜峰值透光率为99.7%；与水的接触角为129°；与二甲基硅油的接触角达到86°；膜层真空...
研究了电子束蒸发制备的HfO2/SiO2高反膜在1 064 nm与532 nm激光辐照下的损伤行为。基频激光辐照时损伤形貌主要为节瘤缺陷喷溅留下的锥形坑，当能量密度较大时出现分层剥落；二倍频激光损伤主要是由电子缺陷引起的平底坑，辐照脉冲能量密度稍高时也会产生吸收性缺陷引起的锥形坑，但电子缺陷的损伤阈值更低；随着辐照脉冲能量密度的增大分层剥落逐渐成为主要的损伤形貌。分析认为，辐照激光波长的变化，引起...
沉降介质对单分散SiO2微球重力组装欧泊模板的影响
欧泊 二氧化硅微球 单分散
2009/8/24
以氨水作催化剂、正硅酸乙酯为硅源、乙醇为溶剂，采用改进溶胶-凝胶法制备了系列单分散SiO2微球，研究了平均粒径为250，280，320 nm单分散SiO2微球在水、无水乙醇、丙酮等介质中的沉降与自组装过程。还对单分散体系重力沉降组装欧泊模板的形成机理进行了讨论。SEM表明，微球在无水乙醇和丙酮沉降介质中均能组装形成3维有序密堆积结构的欧泊，但在无水乙醇中要优于在丙酮中。沉降速度实验表明，相同粒径的...
紫外光固化聚丙烯酰/SiO2有机/无机杂化气凝胶制备
ICF靶 杂化 气凝胶
2009/8/21
采用自制的甲基丙烯酰多羟基倍半硅氧烷制备了UV固化的有机/无机杂化湿凝胶。湿凝胶经CO2超临界干燥后即得到相应的杂化气凝胶，气凝胶经场发射扫描电子显微镜，高分辨透射电镜分析表明：构成气凝胶3维珍珠链结构的骨架的颗粒尺寸为20～30 nm，骨架上具有5～10 nm的孔洞结构，骨架颗粒有机、无机组分间没有明显的相界面。气凝胶的比表面积、吸附特性和微观孔结构采用经典的N2吸附法获得，结果表明气凝胶比表面...
共水解法制备GeO2/SiO2复合气凝胶初步研究
复合气凝胶 惯性约束聚变 背光靶 橄榄形纳米团簇
2010/5/6
采用先共水解正硅酸乙酯和乙醇锗混合溶液、后以胺类化合物作为凝胶催化剂的方法制备了GeO2/SiO2复合氧化物湿凝胶，再将湿凝胶经超临界流体干燥获得了相应的复合氧化物气凝胶。对气凝胶的场发射扫描电镜和高分辨透射电镜分析表明，气凝胶为存在致密纳米团簇的网络结构。电子能谱分析表明，致密的纳米颗粒由富含GeO2的溶胶颗粒堆积而成，网络结构则主要以SiO2为主，这说明在“一锅法”制备复合气凝胶的过程中，Ge...
薄栅SiO2击穿特性的实验分析和机理研究
薄栅氧化层 衬底热空穴 经时击穿
2009/5/8
该文利用衬底热空穴(SHH)注入技术分别控制注入到薄栅氧化层中的热电子和热空穴的数量,定量研究了热电子和热空穴注入对薄栅氧化层击穿的影响,提出了薄栅氧化层的经时击穿是由热电子和热空穴共同作用导致的新观点,并为薄栅氧化层的经时击穿建立了一个新的物理模型。
单甲基原位改性SiO2疏水减反膜的制备与性能研究
共水解缩聚 TEOS MTES
2009/2/19
在碱性条件下通过TEOS和MTES的共水解缩聚反应制备了单甲基原位改性的SiO2溶胶，并使用提拉法在K9玻璃基片上镀制了疏水减反膜。通过透射电镜（TEM）考察了镀膜溶胶的微结构，分别使用红外光谱（FTIR）分析了薄膜的组分，用原子力显微镜（AFM）观察了薄膜的表面形貌和起伏状况，用紫外可见光谱（UV-vis）考察了薄膜的减反射性能，用接触角仪测量了薄膜对水的接触角。并使用“R-on-1”的方式测量...
短脉冲激光辐照下SiO2损伤微观机理简化模型
碰撞电离 光致电离 激光损伤 阈值
2008/5/4
从电子密度速率方程出发，建立短脉冲激光辐照下SiO2材料中导带电子增长简化模型，计算了SiO2中光致电离速率和电子雪崩速率，得到SiO2激光损伤阈值与脉冲宽度的关系，计算分析了光致电离和碰撞电离两种电离机制在导带电子累积过程中的不同作用。结果表明：脉冲较长，碰撞电离几乎能提供全部的导带电子，激光损伤阈值与脉宽的0.5次方成正比；脉冲较短时，导带电子主要由碰撞电离产生，光致电离提供碰撞电离的初始电子...
脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜热效应研究
激光辐照 薄膜 温度场 热应力
2008/4/30
采用1.06 μm单脉冲激光在不同能量密度下辐照特殊光电系统中典型薄膜光学元件，理论分析了激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场，在此基础上建立了激光辐照多层薄膜的物理模型，计算软件使用ANSYS软件的热分析模块对激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场进行了模拟，分别给出不同激光能量密度下薄膜表面光斑中心的温度场、径向温度场和轴向温度场分布；同时给出不同能量密度下薄膜的轴向、径向和环向热应力分布。...
聚乙二醇对溶胶-凝胶SiO2增透膜激光损伤行为的影响
溶胶-凝胶法 激光损伤阈值 激光损伤形貌 聚乙二醇
2008/4/30
采用溶胶-凝胶工艺制备了聚乙二醇（PEG）改性SiO2单层增透膜，用输出波长1.06 μm，脉宽3 ns的调Q激光系统产生的强激光进行辐照实验。观察了添加PEG前后的膜层的微结构、表面形貌以及激光损伤行为的变化，讨论了PEG对薄膜激光损伤行为产生影响的机制。结果表明：添加的PEG可以修饰、导向溶胶簇团的生长和交联，并使之有序，由此制备的薄膜结构规整，微缺陷减少，这就提高了膜层的激光损伤阈值；在激光...
磷酸盐激光玻璃聚(CH3)2SiO/SiO2防潮膜改性研究
防潮膜 溶胶-凝胶 有机硅 激光破坏阈值
2008/4/29
采用溶胶-凝胶方法制备的(CH3)2Si(OC2H5)2预聚体涂膜液中，掺入碱催化的SiO2悬胶体涂膜液，采用旋涂法在掺钕磷酸盐激光玻璃棒端面涂制了改性的防潮膜。当涂膜液中(CH3)2Si(OC2H5)2和SiO2物质的量之比为1∶1时，热处理后的膜层耐摩擦性能明显改善；表面粗糙度的均方根值为1.245 nm；膜层激光破坏阈值大于15 J/cm2(1 053 nm，1 ns)；在80 ℃和95%R...
溶胶凝胶法制备抗激光损伤SiO2疏水减反射膜
溶胶-凝胶 疏水性 减反射膜 二氧化硅激光损伤
2008/4/29
通过溶胶-凝胶法，在碱性条件下水解缩聚正硅酸乙酯获得含有SiO2颗粒的溶胶；以甲基三乙氧基硅烷在酸性条件下水解缩聚获得双链聚合物溶液，作为疏水基团的引入剂。用两者的混合物在玻璃片上旋转镀膜。利用光子相干光谱法、透射电子显微镜、小角X射线散射等方法研究了溶胶微结构，利用紫外-可见光谱仪和接触角测定仪测量薄膜的透射率和疏水性。单面反射率最低降至0.01%，对水接触角最高为118°。利用Nd:...
用1064nm激光增强HfO2/SiO2薄膜的抗激光损伤能力的实验研究
激光损伤 激光预处理
2008/4/28
用1 064nm激光实验研究了HfO2/SiO2薄膜的激光损伤增强效应，实验以薄膜激光损伤阈值70%的激光能量开始，采用N-ON-1方式处理薄膜，激光脉冲的能量增量为5J/cm2。实验结果表明，激光处理薄膜表面能使激光损伤阈值平均提高到3倍左右，并且薄膜的损伤尺度也明显减小。对有缺陷的薄膜，其缺陷经低能量激光后熔和消除，其抗激光损伤能力得到增强，但增强得并不显著，而薄膜本身的激光预处理，可以使其激...
HfO2/SiO2高反射膜的缺陷及其激光损伤
HfO2/SiO2高反射薄膜 表面缺陷 激光损伤
2008/4/13
用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器，对高损伤阈值薄膜常采用的HfO2光损伤所形成的孔洞，与镀制过程中形成的孔洞形貌相似，激光再损伤能力也相似。低能量密度的激光把节瘤缺陷变为孔洞缺陷是激光预处理提高薄膜损伤阈值的原因之一。